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Technology
衬底片形貌检测系列
晶圆级先进封装系列
外观缺陷检测系列
WIM300AP缺陷检测系统(2D/3D)
WIM300AP
功能介绍
该系列设备应用于Bump工艺中对晶圆进行2D/3D缺陷检测 具备缺陷计数、分类等功能,支持明场/暗场多种检测方式。设备通过样片台的多维运动实现样品表面的快速扫描,搭载智能AI算法进行深度学习。
WIM300缺陷检测设备
WIM300
功能介绍
该系列设备应用于晶圆表面缺陷检测,具备缺陷计数、分类等功能,支持明场/暗场多种检测方式。设备通过样片台的多维运动实现样品表面的快速扫描,搭载智能AI算法进行深度学习。