FLMS300薄膜测量设备
FLMS300
2026-02-05
阅读量： 122支持SECS/GEMSEMI标准，适配工厂自动化需求;集成椭偏仪、反射式膜厚、应力模块；支持量测任务自动下发，结果上报，数据回溯等功能自研算法生成膜厚3D/2D均匀性分布图配置离线分析和批量导入，大幅度降低生产成本
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