中薄膜厚测量系统
FLMS-200
2025-03-12
阅读量： 131
光源波长380nm-1000nm。
8寸移动平台，重复定位精度1um;
SR核心探头，红外傅里叶探头可选，测量参数包括介质/光刻胶薄膜厚度、反射率等。
8寸移动平台，重复定位精度1um;
SR核心探头，红外傅里叶探头可选，测量参数包括介质/光刻胶薄膜厚度、反射率等。
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