WLP-G300几何尺寸检测系统
WLP-G300
2023-08-29
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  支持SECS/GEMSEMI标准,适配工厂自动化需求;支持集成膜厚测量,形貌测量,多层厚度测量模块等。支持量测任务自动下发,结果上报,数据回溯等功能。多维度量测结果可视化展示,直观呈现工艺偏差;配备离线分析、批量任务导入,大幅降低生产成本