FLMS300薄膜测量设备
FLMS300
2026-02-05
阅读量： 1064Thin Film Measurement Equipment
系统介绍
用于半导体薄膜工艺的检测环节，设备集成椭圆偏振技术和光谱反射技术，用于测量薄膜厚度，反射率，折射率，精度达亚纳米级。多维度量测结果展示，提供从研发到量产的全流程薄膜监测解决方案。
测量参数
介质层氧化膜Pi薄膜厚度
行业应用
薄膜工艺晶圆背封
自动化能力
● 支持 SECS/GEM SEMI 标准，适配工厂自动化需求
● 支持全流程自动化，测量结果实时上报，数据回溯
● 面型可视化，直观显示工艺偏差，快速定位问题
● 支持离线分析，任务导入，提升机台利用率，降低生产成本
电话：176 2137 2945 宋经理
地址：宁波市余姚市缪云线千人计划产业园1号楼
上海市闵行区浦江科技广场21号楼B202
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