晶圆缺陷检测WIM200
WIM200
2023-08-30
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WIM200兼容有图形与无图形缺陷检测;支持多倍率自由切换,满足不同检测精度要求;配置2个OPEN CST(FOUP可选);自动ALIGNER;
深度学习算法实现缺陷自动分类;多种缺陷检测算法组合,实现更鲁棒的检测效果;支持REVIEW;
产品为半自动设备,非接触式厚度测量系统,支持GEM/SECS协议,包含数据上传,异常通讯,远程操控等。产品型号覆盖不同尺寸,支持4种倍率物镜切换(1X,2X,5X)