外观缺陷检测系统
PWI608
2023-08-29
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PWI608系列设备用于光通讯,VECSEL等领域的Chip on Tap阶段的外观缺陷检测,可对发光孔,PAD等区域的缺陷进行精确检测,检测精度0.5um
产品为半自动设备,包含数据上传,远程操控等,数据maping,表格统计,产品型号覆盖6-8寸,检测结果返回map图片原坐标

2D图形缺陷包括微粒、划伤、坑点、图形缺失、多余物等;